18日科技日報記者從(cong) 北京化工大學、江蘇博硯電子科技有限公司聯合召開的國家重點研發與(yu) 產(chan) 業(ye) 化項目推進會(hui) 上獲悉,我國LCD製造用高端超純材料的關(guan) 鍵技術取得重大突破,並已在宜興(xing) 建成國內(nei) 首條年產(chan) 1000噸黑色光阻示範生產(chan) 線。這意味著,長期受國外壟斷的微電子高端材料開始走向國產(chan) 化,並為(wei) 我國微電子及相關(guan) 產(chan) 業(ye) 走出依賴“困境”起到了重要的引領作用。
微電子產(chan) 業(ye) 是我國國民經濟的支柱產(chan) 業(ye) ,也是重點發展的戰略性新興(xing) 產(chan) 業(ye) 。但是,在這個(ge) 領域的核心技術、關(guan) 鍵裝備與(yu) 材料是我國產(chan) 業(ye) 的短腿,長期受到歐美、日本等國家和地區的壟斷與(yu) 封鎖。江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健說:“有資料顯示,2017年我國進口芯片花費2072億(yi) 美元。從(cong) 材料來說,目前國內(nei) 自我供給僅(jin) 占總需求的10%左右。”
北京化工大學理學院院長聶俊介紹,該校主持承擔的“微電子加工用高端超純化學品”是國家重點研發與(yu) 產(chan) 業(ye) 化項目,自去年啟動以來,通過產(chan) 學研合作,突破了微電子加工用高端電子化學品超純化處理技術瓶頸,實現微電子加工用高感度光引發劑和弱堿顯影樹脂的結構設計及超純化規模製備,並將在國內(nei) 建成超純三甲基鋁(7N級)、納米色漿、光阻材料生產(chan) 線、建立光阻材料的性能評價(jia) 平台,實現從(cong) 原材料至最終產(chan) 品的自主配套。
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