10月16日，山東(dong) 有研艾斯12英寸集成電路用大矽片產(chan) 業(ye) 化項目在德州天衢新區實現通線，這是山東(dong) 第一條12英寸集成電路用大矽片生產(chan) 線，標誌著山東(dong) 在完善集成電路產(chan) 業(ye) 鏈建設上邁出了關(guan) 鍵一步。該項目全部達產(chan) 後將形成120萬(wan) 片/年的生產(chan) 規模。

　　10月15日，記者在山東(dong) 有研艾斯生產(chan) 車間看到，單晶矽棒被切割成厚度僅(jin) 一毫米直徑約305毫米（12英寸）的矽片，再經過倒角、研磨等40-50道工序，最終矽片出廠時最高與(yu) 最低的平整度誤差不能超過0.1微米。山東(dong) 有研艾斯總經理閆誌瑞指著一片矽片向記者介紹，矽片即“晶圓”，相當於(yu) 芯片的“地基”。與(yu) 芯片越小科技含量越高的製程工藝不同，矽片是越大則對材料和技術的要求越高。12英寸矽片的麵積是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，單片產(chan) 出的芯片數量和經濟效益明顯增加。

　　隨著集成電路製程和工藝的發展，矽片趨向大尺寸化和製程精細化，12英寸矽片為(wei) 當前及未來較長時間內(nei) 的主流產(chan) 品。

　　2018年以來，中國有研科技集團在山東(dong) 德州投資近百億(yi) 元，落地7個(ge) 項目，已投產(chan) 4個(ge) 。2020年，8英寸集成電路用大矽片通線量產(chan) ，再到今天12英寸集成電路用大矽片產(chan) 業(ye) 項目通線，山東(dong) 德州成為(wei) 有研在全國投資布局規模最大、業(ye) 務領域最廣的科技成果轉化基地。德州天衢新區依托中國有研“集成電路關(guan) 鍵材料國家工程研究中心”，打造中國集成電路關(guan) 鍵材料（德州）基地，將成為(wei) 北方最大的集成電路用大矽片生產(chan) 基地。

　　企業(ye) 投資持續“加碼”，中國有研科技集團有限公司黨(dang) 委委員、副總經理周旗鋼信心十足，“投資項目進展順利、運行正常，事實證明當初選擇山東(dong) 、選擇德州是正確的。”他表示，德州將有研作為(wei) 鏈主企業(ye) 重點培育，精心建設專(zhuan) 業(ye) 園區，形成了較為(wei) 完善的半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 生態，“有研也將充分發揮頭部效應，集聚更多上下遊企業(ye) 落戶德州。”

　　據悉，德州近五年來，半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 產(chan) 值年均增長近20%。山東(dong) 有研入選省級“雁陣形”產(chan) 業(ye) 集群領軍(jun) 企業(ye) 庫，天衢新區電子信息（集成電路）入選山東(dong) 省戰略性新興(xing) 產(chan) 業(ye) 集群和特色產(chan) 業(ye) 集群，已成為(wei) 全省半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 高質量發展的重要增長極，一批高端優(you) 質項目聚“鏈”成“群”，蓬勃發展。（賀瑩瑩 韓哲）

　　(責編：劉穎婕、邢曼華)