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【科技前沿】我國首顆六英寸氧化镓單晶成功製備

發布時間:2023-03-01 09:49:00來源: 光明網-《光明日報》

  【科技前沿】

  光明日報北京2月28日電(記者崔興(xing) 毅)日前,中國電科46所成功製備出我國首顆6英寸氧化镓單晶,達到國際最高水平。

  氧化镓是新型超寬禁帶半導體(ti) 材料,擁有優(you) 異的物理化學特性,在微電子與(yu) 光電子領域均擁有廣闊的應用前景。但因具有高熔點、高溫分解以及易開裂等特性,因此,大尺寸氧化镓單晶製備極為(wei) 困難。

  據了解,中國電科46所氧化镓團隊聚焦多晶麵、大尺寸、高摻雜、低缺陷等方向,從(cong) 大尺寸氧化镓熱場設計出發,成功構建了適用於(yu) 6英寸氧化镓單晶生長的熱場結構,突破了6英寸氧化镓單晶生長技術,具有良好的結晶性能,可用於(yu) 6英寸氧化镓單晶襯底片的研製,將有力支撐我國氧化镓材料實用化進程和相關(guan) 產(chan) 業(ye) 發展。

  近年來,中國電科圍繞國家戰略需求,在氧化镓、氮化鋁、金剛石等超寬禁帶半導體(ti) 材料領域砥礪深耕並取得重大突破和標誌性成果,有力支撐了我國超寬禁帶半導體(ti) 材料的發展。

(責編:李雨潼)

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